Détails
Titre
From Micro-Optics to optical MEMS
Auteur(s)
Herzig, H. P.
Publié dans
Ninth Microoptics Conference MOC'03
Série
Technical Digest
Pages
88-91
Date
2003
Editeur
The Japan Society of Applied Optics
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22