Optical MEMS based on silicon-on-insulator (SOI) for monolithic microoptics
2002
Détails
Titre
Optical MEMS based on silicon-on-insulator (SOI) for monolithic microoptics
Auteur(s)
Noell, W. ; Sun, W. ; de Rooij, N. F. ; Herzig, H. P. ; Manzardo, O. ; Dändliker, R.
Publié dans
LEOS 2002 IEEE Annual Meeting Conference Proceedings
Volume
2
Pages
580-581
Date
2002
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22