XY-stage for alignment of optical elements in MOEMS
1998
Détails
Titre
XY-stage for alignment of optical elements in MOEMS
Auteur(s)
Peter, Y.-A. ; Herzig, H. P. ; Bottinelli, S.
Publié dans
Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV
Série
Proc. SPIE, 3513
Pages
202-205
Date
1998
Editeur
SPIE-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, USA
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22