Microlens Lithography and Smart Masks
1997
Détails
Titre
Microlens Lithography and Smart Masks
Auteur(s)
Völkel, R. ; Herzig, H. P. ; Nussbaum, Ph. ; Blattner, P. ; Dändliker, R. ; Cullmann, E. ; Hugle, W.B.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
35
Pages
513-516
Date
1997
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
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Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-04-22