Design, fabrication and testing of micro-optical components for sensors and microsystems
1997
Détails
Titre
Design, fabrication and testing of micro-optical components for sensors and microsystems
Auteur(s)
Völkel, R. ; Nussbaum, Ph. ; Roulet, H.-Ch. ; Blattner, P. ; Weible, K. J. ; Herzig, H. P.
Publié dans
Micro-optical Technologies for Measurement, Sensors and Microsystems II and Optical Fiber Sensor Technologies and Applications
Série
Proc. SPIE, 3099
Pages
196-211
Date
1997
Editeur
SPIE-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, USA
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22