Microlens Lithography: A new approach for large display fabrication
1996
Détails
Titre
Microlens Lithography: A new approach for large display fabrication
Auteur(s)
Völkel, R. ; Herzig, H. P. ; Nussbaum, Ph. ; Singer, W. ; Dändliker, R. ; Hugle, W.B.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
30
Pages
107-110
Date
1996
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
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Date de création de la notice
2009-04-22