Non-conventional techniques for optical lithography
1995
Détails
Titre
Non-conventional techniques for optical lithography
Auteur(s)
Dändliker, R. ; Gray, S. ; Clube, F. ; Herzig, H. P. ; Völkel, R.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
27
Pages
205-211
Date
1995
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
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Date de création de la notice
2009-04-22