Détails
Titre
Microlens arrays for optical lithography
Auteur(s)
Völkel, R. ; Nussbaum, Ph. ; Herzig, H. P. ; Hugle, W.B.
Publié dans
Microlens Arrays
Série
EOS Topical Meetings Digest Series
Volume
5
Pages
100-105
Date
1995
Editeur
European Optical Society, Paris
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22