Modulated submicron gratings
1994
Détails
Titre
Modulated submicron gratings
Auteur(s)
Herzig, H. P. ; Ehbets, P. ; Nussbaum, P. ; Dändliker, R. ; Clube, F. S. M. ; Gray, S. ; Tisserand, J. C.
Publié dans
International Conference on Optical Metrology and Nanontechnology
Série
EOS Topical Meetings Digests Series Volume 4
Pages
62-63
Date
1994
Editeur
Paul Scherrer Institute, Zurich, Switzerland
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22