Détails
Titre
Holographic photolithography for submicron VLSI structures
Auteur(s)
Brook, J. ; Dändliker, R.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
11
Pages
127-131
Date
1990
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
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Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-04-22