Interaction of pulsed VUV radiation with CVD TiO2 thin films. The resist problem.
2003
Détails
Titre
Interaction of pulsed VUV radiation with CVD TiO2 thin films. The resist problem.
Auteur(s)
Mitrev, Pande
Date
2003
Mots-clés (libres)
Note
EPFL / Ioffe Physico-Technical Institute St. Petersburg
Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Travail produit à l'EPFL
Travaux d'étudiants
Travail produit à l'EPFL
Travaux d'étudiants
Type de travail
Diploma work
Date de création de la notice
2009-03-17