Déposition de structures en cuivre en trios dimensions par deposition chimique en phase vapeur assistée par laser (LCVD)
1998
Détails
Titre
Déposition de structures en cuivre en trios dimensions par deposition chimique en phase vapeur assistée par laser (LCVD)
Auteur(s)
Zürcher, Jérôme
Date
1998
Mots-clés (libres)
Laboratoires
LOA
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LOA - Laboratoire d'optique appliquée Prof. Salathé
Travail produit à l'EPFL
Travaux d'étudiants
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Type de travail
Semester assignment
Date de création de la notice
2009-03-17