Direct fabrication of NIL stamps using Stencil Lithography
2008
Files
Détails
Titre
Direct fabrication of NIL stamps using Stencil Lithography
Auteur(s)
Villanueva, G. ; Vazquez-Mena, O. ; Kiefer, T. ; Brugger, J.
Présenté à
Eurosensors XXII, Dresden, Germany, September 7-10, 2008
Date
2008
Laboratoires
LMIS1
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
Date de création de la notice
2009-03-02