Analysis and Applications of Nanostructures Created by Stencil Lithography
2009
Fichiers
Détails
Titre
Analysis and Applications of Nanostructures Created by Stencil Lithography
Auteur(s)
Vázquez-Mena, O. ; Sannomiya, T. ; Tosun, M. ; Voros, J. ; Villanueva, G. ; Brugger, J.
Présenté à
The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver, Colorado, USA, June 21-25, 2009
Date
2009
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Travail produit à l'EPFL
Publié
Posters
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Date de création de la notice
2009-03-02