Resistless ion implantation of sub-micron scale features through nano-stencil
Villanueva, G.; Martin, C.; Vazquez-Mena, O.; Montserrat, J.; Langlet, P.; Bausells, J.; Brugger, J.
2008

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Resistless ion implantation of sub-micron scale features through nano-stencil

Détails

Titre Resistless ion implantation of sub-micron scale features through nano-stencil
Auteur(s) Villanueva, G. ; Martin, C. ; Vazquez-Mena, O. ; Montserrat, J. ; Langlet, P. ; Bausells, J. ; Brugger, J.
Présenté à 34th International Conference on Micro- and Nano Engineering 2008 (MNE 2008), Athens, Greece, September 15-18, 2008
Date 2008
Laboratoires LMIS1
NEMS
Le document apparaît dans Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Publications validées par des pairs
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice 2009-03-02

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