Effect of strength test methods on silicon wafer strength measurements
2007
Fichiers
Détails
Titre
Effect of strength test methods on silicon wafer strength measurements
Auteur(s)
Wasmer, K. ; Bidiville, A. ; Michler, J. ; Ballif, C. ; van der Meer, Mathijs Pieter ; Nasch, P.
Date
2007
Note
IMT-NE Number: 472
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-02-10