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Détails
Titre
Plasma depositon processes for nanocomposite TiN/SiNx coatings
Auteur(s)
Haug, F.-J. ; Patscheider, J.
Publié dans
Transactions of the Indian Institute of Metals
Volume
58(6)
Pages
957-963
Date
2005
Note
IMT-NE Number: 447
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-02-10