Evolution of the Microstructure in Microcrystalline Silicon Prepared by Very High Frequency Glow-Discharge using Hydrogen Dilution
2000
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Détails
Titre
Evolution of the Microstructure in Microcrystalline Silicon Prepared by Very High Frequency Glow-Discharge using Hydrogen Dilution
Auteur(s)
Vallat-Sauvain, E. ; Kroll, U. ; Meier, J. ; Shah, A. ; Pohl, J.
Publié dans
Journal of Applied Physics
Volume
87 (6)
Pages
3137-3142
Date
2000
Note
IMT-NE Number: 313
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-02-10