Fast Deposition of µc-Si:H by Restrictive Dilution and Enhanced HF-Power
1997
Fichiers
Détails
Titre
Fast Deposition of µc-Si:H by Restrictive Dilution and Enhanced HF-Power
Auteur(s)
Torres, P. ; Keppner, H. ; Meier, J. ; Kroll, U. ; Beck, N. ; Shah, A.
Publié dans
physica status solidi (a)
Volume
163
Numéro
2
Pages
R9-R10
Date
1997
Note
IMT-NE Number: 258
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Date de création de la notice
2009-02-10