Optical and Electrical Properties of Undoped Microcrystalline Silicon Deposited by the VHF-GD with Different Dilutions of Silane in Hydrogen
1997
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Détails
Titre
Optical and Electrical Properties of Undoped Microcrystalline Silicon Deposited by the VHF-GD with Different Dilutions of Silane in Hydrogen
Auteur(s)
Beck, N. ; Torres, P. ; Fric, J. ; Remes, Z. ; Poruba, A. ; Stuchlikova, H. A. ; Fejfar, A. ; Wyrsch, N. ; Vanecek, M. ; Kocka, J. ; Shah, A.
Publié dans
MRS Proceedings
Volume
452
Pages
761-766
Date
1997
Note
IMT-NE Number: 237
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Production scientifique et compétences > Partenaires EPFL > Campus Neuchâtel > PV-Lab - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-02-10