Silicon Carbon Alloys produced by VHF and Conventional PECVD. A Comparison of their Properties
1994
Détails
Titre
Silicon Carbon Alloys produced by VHF and Conventional PECVD. A Comparison of their Properties
Auteur(s)
Crovini, G. ; Demichelis, F. ; Pirri, C. F. ; Tresso, E. ; Meier, J. ; Dubail, S. ; Shah, A.
Publié dans
MRS Symp.
Volume
336
Pages
481-486
Date
1994
Note
IMT-NE Number: 169
Laboratoires
PV-LAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > PV-LAB - Laboratoire de photovoltaïque et couches minces électroniques
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Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
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Date de création de la notice
2009-02-10