Uniformity of silicon microcrystallinity in large area RF capacitive reactors
2008
Détails
Titre
Uniformity of silicon microcrystallinity in large area RF capacitive reactors
Auteur(s)
Strahm, Benjamin ; Hollenstein, Christoph ; Howling, Alan
Publié dans
Progress in Photovoltaics
Volume
16
Pages
687-691
Date
2008
Mots-clés (libres)
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Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-12-15