Détails
Titre
Recent progress in materials issues for piezoelectric MEMS
Auteur(s)
Muralt, P.
Publié dans
Journal of the American Ceramic Society
Volume
91
Numéro
5
Pages
1385-1396
Date
2008
Autres identifiant(s)
DAR: 12388
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-11-03