Optimization of microcrystaline silicon deposition efficiency
2007
Fichiers
Détails
Titre
Optimization of microcrystaline silicon deposition efficiency
Auteur(s)
Strahm, B. ; Howling, A.A. ; Sansonnens, L. ; Hollenstein, Ch.
Présenté à
AVS 53rd International Symposium Exhibition, San Francisco, 12 November 2006
Date
2007
Note
J. Vac. Sci. Technol.
Lien supplémentaire
URL
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2008-05-13