3D numerical simulation of plasma enhanced chemical vapour deposition (PPECVD) applied to large-area showerhead reactors
2005
Détails
Titre
3D numerical simulation of plasma enhanced chemical vapour deposition (PPECVD) applied to large-area showerhead reactors
Auteur(s)
Bondkowski, J. ; Sobbia, R. ; Sansonnens, L.
Publié dans
Proc. AM-LCD04 Conference
Présenté à
AM-LCD04 Conference
Date
2005
Note
Proc. AM-LCD04 Conference, Tokyo, 25 August 2004 (2005)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2008-05-13