Elimination of electromagnetic non-uniformities in large-area RF plasma reactors used for thin-film deposition
2004
Détails
Titre
Elimination of electromagnetic non-uniformities in large-area RF plasma reactors used for thin-film deposition
Auteur(s)
Howling, A.A. ; Sansonnens, L. ; Schmitt, J.P.M. ; Ballutaud, J. ; Schmidt, H. ; Hollenstein, Ch.
Présenté à
Société Suisse de Physique
Date
2004
Note
Société Suisse de Physique, SPS Annual Meeting, Neuchâtel, 4 mars 2004
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2008-05-13