Challenges in RF plasma disposition on square-meter substrates
2003
Détails
Titre
Challenges in RF plasma disposition on square-meter substrates
Auteur(s)
Sansonnens, L. ; Schmitt, J.P.M. ; Howling, A.A. ; Ballutaud, J. ; Schmidt, H. ; Hollenstein, Ch.
Présenté à
14th Int. Colloquium on Plasma Processes, Juan-Les-Pins, Antibes, France, June/July 2003
Date
2003
Note
Invited paper
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2008-05-13