Consequences of non-uniform RF plasma potential in large-area capacitive reactors
2003
Détails
Titre
Consequences of non-uniform RF plasma potential in large-area capacitive reactors
Auteur(s)
Ballutaud, J. ; Hollenstein, Ch. ; Howling, A.A. ; Sansonnens, L. ; Schmidt, H. ; Schmitt, J.P.M.
Présenté à
16th International Symposium on Plasma Chemistry
Date
2003
Note
16th International Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italy, June 2003
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Publié
Date de création de la notice
2008-05-13