RF plasma deposition uniformity on square-meter substrates
2000
Détails
Titre
RF plasma deposition uniformity on square-meter substrates
Auteur(s)
Sansonnens, L. ; Howling, A.A. ; Ballutaud, J. ; Hollenstein, Ch.
Publié dans
Proc. 27th EPS Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics
Volume
24B
Présenté à
27th EPS Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics
Date
2000
Note
Proc. 27th EPS Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics, Budapest, Hungary, 12-16 June 2000, ECA Vol. 24B, 1268-1271 (2000) (P3-122)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Date de création de la notice
2008-05-13