On the powder formation in industrial reactive RF plasmas


Publié dans:
Proceedings of the 2nd Int. Conference on the Physics of Dusty Plasmas
Présenté à:
2nd Int. Conference on the Physics of Dusty Plasmas
Année
1999
Note:
Proceedings of the 2nd Int. Conference on the Physics of Dusty Plasmas, Hakone, Japan, May 1999, ICPDP-99, Edited: Y. Nakamura Elsevier p. 169
Laboratoires:
SPC
CRPP




 Notice créée le 2008-05-13, modifiée le 2018-09-13


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