Gas phase and particle diagnostics of HMDSO plasmas by infrared absorption spectroscopy
1998
Détails
Titre
Gas phase and particle diagnostics of HMDSO plasmas by infrared absorption spectroscopy
Auteur(s)
Magni, D. ; Deschenaux, Ch. ; Courteille, C. ; Howling, A.A. ; Hollenstein, Ch. ; Fayet, P.
Publié dans
MRS Proceedings
Volume
544
Pages
65–70
Présenté à
MRS Symposium, Proceeding Y: Plasma deposition and Treatment of Polymers, Fall Meeting, 1998, Boston, USA
Date
1998
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-05-13