Gas phase and particle diagnostics of HMDSO plasmas by infrared absorption spectroscopy


Présenté à:
MRS Symposium
Année
1998
Note:
MRS Symposium, Proceeding Y: Plasma deposition and Treatment of Polymers, Fall Meeting, 1998, Boston, USA
Laboratoires:
SPC
CRPP




 Notice créée le 2008-05-13, modifiée le 2019-02-28


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