Gas phase and particle diagnostic of HMDSO plasmas by infrared absorption spectroscopy
1998
Détails
Titre
Gas phase and particle diagnostic of HMDSO plasmas by infrared absorption spectroscopy
Auteur(s)
Courteille, C. ; Magni, D. ; Deschenaux, Ch. ; Fayet, P. ; Howling, A.A. ; Hollenstein, Ch.
Publié dans
Proc. 41st Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference
Présenté à
41st Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference
Date
1998
Note
Proc. 41st Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference, Boston, USA, 18-23 April 1998, 327 - 332 (1998)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-05-13