Investigation of high current-density plasma-CVD-sources for diamond film condensation
1994
Détails
Titre
Investigation of high current-density plasma-CVD-sources for diamond film condensation
Auteur(s)
Bergmann, E. ; Hollenstein, C. ; Karner, J. ; Pedrazzini, M.
Publié dans
Proc. of 1st Conference on Materials Research for Engineering Systems
Présenté à
1st Conference on Materials Research for Engineering Systems
Date
1994
Note
Proc. of 1st Conference on Materials Research for Engineering Systems, Sion, Switzerland, September 1994, 275 - 279 (1994)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-05-13