Properties VHF plasmas related to technological aspects of a-Si:H deposition
1992
Détails
Titre
Properties VHF plasmas related to technological aspects of a-Si:H deposition
Auteur(s)
Hollenstein, Ch. ; Howling, A.A. ; Dorier, J.-L.
Publié dans
Proc. 11th Europ. Photovoltaic Solar Energy Conference
Présenté à
11th Europ. Photovoltaic Solar Energy Conference
Date
1992
Note
Proc. 11th Europ. Photovoltaic Solar Energy Conference, Montreux, Oct. 1992
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-05-13