000121296 001__ 121296
000121296 005__ 20190316234232.0
000121296 037__ $$aREP_WORK
000121296 245__ $$aAttachment-induced ionization instability in electronegative capacitive RF discharges
000121296 269__ $$a2003
000121296 260__ $$c2003
000121296 336__ $$aReports
000121296 6531_ $$aLRP 751
000121296 700__ $$0240128$$aDescoeudres, A.$$g107910
000121296 700__ $$0240530$$aSansonnens, L.$$g103532
000121296 700__ $$0240129$$aHollenstein, Ch.$$g105413
000121296 8564_ $$s600526$$uhttps://infoscience.epfl.ch/record/121296/files/lrp_751_03_hq.pdf$$zn/a
000121296 909C0 $$pCRPP
000121296 909C0 $$0252028$$pSPC$$xU12272$$xU10136$$xU12267$$xU12269$$xU12271$$xU10559$$xU12273$$xU10557$$xU12270$$xU10137$$xU10636$$xU12266$$xU10635$$xU10558$$xU12268
000121296 909CO $$ooai:infoscience.tind.io:121296$$pSB$$preport$$qGLOBAL_SET
000121296 937__ $$aCRPP-REPORT-2003-013
000121296 973__ $$aEPFL$$sPUBLISHED
000121296 980__ $$aREPORT