Attachment-induced ionization instability in electronegative capacitive RF discharges
2003
Files
Détails
Titre
Attachment-induced ionization instability in electronegative capacitive RF discharges
Auteur(s)
Descoeudres, A. ; Sansonnens, L. ; Hollenstein, Ch.
Date
2003
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Date de création de la notice
2008-04-18