Etude de l'origine et de la croissance de particules sub-micrométriques dans des plasmas radiofréquence réactifs
2002
Détails
Titre
Etude de l'origine et de la croissance de particules sub-micrométriques dans des plasmas radiofréquence réactifs
Auteur(s)
Deschenaux, C.
Date
2002
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-04-18