Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de Silicium
2001
Détails
Titre
Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de Silicium
Auteur(s)
Magni, D.
Date
2001
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice
2008-04-18