Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de Silicium
2001
Details
Title
Etude des plasmas organosiliciés dilués en oxygène utilisés pour la déposition d'oxyde de Silicium
Author(s)
Magni, D.
Date
2001
Keywords
Laboratories
CRPP
SPC
SPC
Record Appears in
Scientific production and competences > SB - School of Basic Sciences > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Work produced at EPFL
Technical Reports
Published
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Technical Reports
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Record creation date
2008-04-18