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Déposition assistée par plasma radiofréquence dans un réacteur de grande surface: effets de la contamination particulaire et de la fréquence d'excitation

Sansonnens, L.

Year:
1998
Keywords:
LRP 602
Laboratories:
SPC
CRPP

Record appears in:
Scientific production and competences > SB - School of Basic Sciences > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Publicly available
Work produced at EPFL
Technical Reports
Published



 Record created 2008-04-18, last modified 2018-09-13

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