Silicon oxide particle formation in RF plasmas investigated by Infrared absorption spectroscopy and mass spectrometry
1997
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Détails
Titre
Silicon oxide particle formation in RF plasmas investigated by Infrared absorption spectroscopy and mass spectrometry
Auteur(s)
Hollenstein, Ch. ; Howling, A.A. ; Courteille, C. ; Magni, D. ; Scholtz Odermatt, S. ; Kroesen, G.M.W. ; Simons, N. ; de Zeeuw, W. ; Schwarzenbach, W.
Date
1997
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2008-04-18