Partial-depth modulation study of anions and neutrals inlow pressure Silane plasmas
1995
Fichiers
Détails
Titre
Partial-depth modulation study of anions and neutrals inlow pressure Silane plasmas
Auteur(s)
Courteille, C. ; Dorier, J.-L. ; Hollenstein, Ch. ; Sansonnens, L. ; Howling, A.A.
Date
1995
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Date de création de la notice
2008-04-18