Spatio-temporal powder formation and trapping in RF Silane plasmas using 2-D polarization-sensitive laser scattering
1994
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Détails
Titre
Spatio-temporal powder formation and trapping in RF Silane plasmas using 2-D polarization-sensitive laser scattering
Auteur(s)
Dorier, J.-L. ; Hollenstein, Ch. ; Howling, A.A.
Date
1994
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2008-04-18