Negative ion mass spectra and particulate formation in RF silane plasma deposition experiments
1992
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Détails
Titre
Negative ion mass spectra and particulate formation in RF silane plasma deposition experiments
Auteur(s)
Howling, A.A. ; Dorier, J.-L. ; Hollenstein, Ch.
Date
1992
Mots-clés (libres)
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
Publié
Travail produit à l'EPFL
Rapports techniques
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Date de création de la notice
2008-04-18