Comment on "Ion energy uniformity in high-frequency capacitive discharges" [Appl. Phys. Lett. 86, 021501 (2005)]
2005
Détails
Titre
Comment on "Ion energy uniformity in high-frequency capacitive discharges" [Appl. Phys. Lett. 86, 021501 (2005)]
Auteur(s)
Howling, A. A. ; Sansonnens, L. ; Schmidt, H. ; Hollenstein, C.
Publié dans
Applied Physics Letters
Volume
87
Numéro
7
Pages
076101
Date
2005
ISSN
0003-6951
Autres identifiant(s)
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Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
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Date de création de la notice
2008-04-16