Diagnostics of particle genesis and growth in RF Silane plasmas by ion mass spectrometry and light scattering
1994
Détails
Titre
Diagnostics of particle genesis and growth in RF Silane plasmas by ion mass spectrometry and light scattering
Auteur(s)
Hollenstein, Ch. ; Dorier, J.-L. ; Dutta, J. ; Sansonnens, L. ; Howling, A.A.
Publié dans
Plasma Sources Science and Technology
Volume
3
Pages
278-285
Date
1994
Laboratoires
CRPP
SPC
SPC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > SB - Faculté des sciences de base > SPC - Swiss Plasma Center > SPC - Swiss Plasma Center
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Travail produit à l'EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2008-04-16