Direct Visual Observation of Powder Dynamics in Rf Plasma-Assisted Deposition
Howling, A. A.; Hollenstein, C.; Paris, P. J.
1991

Résumé

Contamination due to particles generated and suspended in silane rf plasmas is investigated. Powder is rendered visible by illumination of the reactor volume. This simple diagnostic for global, spatio-temporal powder dynamics is used to study particle formation, trapping, and powder reduction by power modulation.

Détails

Titre Direct Visual Observation of Powder Dynamics in Rf Plasma-Assisted Deposition
Auteur(s) Howling, A. A. ; Hollenstein, C. ; Paris, P. J.
Publié dans Applied Physics Letters
Volume 59
Numéro 12
Pages 1409-1411
Date 1991
ISSN 0003-6951
DOI https://doi.org/10.1063/1.105322
Laboratoires CRPP
SPC
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Travail produit à l'EPFL
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Date de création de la notice 2008-04-16

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