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Conference paper

LTCC Gas-Viskositätssensor

Dieser Beitrag befasst sich mit einem Viskositätssensor für die Identifikation von Gasen (insbesondere Brenngase). Der Sensor wird aus strukturiertem LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) gefertigt, und besteht aus drei Elementen: 1) Eine beheizte Kavität, 2) eine Membran für Druckmessung, und 3) ein Mäander ("fluidischer Widerstand" / Lecknormal). Im Betrieb wird die Kavität periodisch aufgeheizt und abgekühlt. Dadurch entstehen periodische Über- und Unterdruckpulse, die durch das Lecknormal abfallen und mittels der Membran kontinuierlich gemessen werden. Die Viskosität kann dann durch die entsprechende Zeitkonstante ermittelt werden. Der Sensor arbeitet völlig thermisch (auch die Druckmessung), was mit einfacher Elektronik kompatibel ist und auch die Messung der thermischen Leitfähigkeit erlaubt.

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