Etching of sub-micrometer structures through Stencil
2008
Fichiers
Détails
Titre
Etching of sub-micrometer structures through Stencil
Auteur(s)
Villanueva, G. ; Vazquez-Mena, O. ; van den Boogaart, M. A. F. ; Sidler, K. ; Savu, V. ; Brugger, J.
Publié dans
Microelectronic Engineering Journal
Volume
85
Numéro
5-6
Pages
1010-1014
Présenté à
33rd International Conference on Micro- and Nano Engineering 2007 (MNE 2007), 23-26 Sept, 2007, Copenhagen, Denmark, Copenhagen, Denmark, 23-26 Sept, 2007
Date
2008
Editeur
Elsevier
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IEM - Institute of Electrical and Micro Engineering > LMIS1 - Laboratoire de microsystèmes 1
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
Publications validées par des pairs
Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > IGM - Institut de génie mécanique > NEMS - Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques
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Papiers de conférence
Travail produit à l'EPFL
Publié
Date de création de la notice
2007-11-07