Active isolation of electronic micro-components with piezoelectrically transduced silicon MEMS devices
2007
Détails
Titre
Active isolation of electronic micro-components with piezoelectrically transduced silicon MEMS devices
Auteur(s)
Meyer, Y. ; Verdot, T. ; Collet, M. ; Baborowski, J. ; Muralt, P.
Publié dans
Smart Materials & Structures
Volume
16
Numéro
1
Pages
128-134
Date
2007
ISSN
0964-1726
Autres identifiant(s)
DAR: 9844
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Laboratoires
LC
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > LC - Laboratoire de céramique
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Date de création de la notice
2007-10-18